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EUV Sources for Lithography (Bakshi, Vivek (Hrsg.))
EUV Sources for Lithography
Autor Bakshi, Vivek (Hrsg.)
Verlag SPIE Press
Sprache Englisch
Einband Fester Einband
Erscheinungsjahr 2006
Seiten 900 S.
Artikelnummer 23353554
ISBN 978-0-8194-5845-2
Reihe Press Monographs
Sonstiges Postgraduate, Research & Scholarly
CHF 290.00
Nicht (mehr) im Sortiment/Besorgung möglich
Zusammenfassung
An authoritative reference book on EUV source technology. Topics range from an overview of EUV source requirements, to fundamental atomic data and theoretical models of EUV sources based on discharge-produced plasmas (DPP) and laser-produced plasmas, to a description of DPP and LPP designs and other technologies for producing EUV radiation.